高效送風(fēng)口，F(xiàn)FU，層流罩都是用在無塵室里面的設(shè)備，作用都是過濾空氣中的塵埃粒子，以達(dá)到生產(chǎn)制成對潔凈度的要求。
根據(jù)送風(fēng)的方式，使用位置的不同，造成產(chǎn)品本身的結(jié)構(gòu)也不一樣。高效送風(fēng)口，分為送風(fēng)箱及高效濾網(wǎng)，本身不具備動力，不能自己送風(fēng)到無塵室。高效送風(fēng)口，上面或側(cè)面，會有“入風(fēng)口”，“入風(fēng)口”經(jīng)風(fēng)管與MAU空調(diào)箱連接，風(fēng)從空調(diào)送出，經(jīng)風(fēng)管送進(jìn)送風(fēng)箱，經(jīng)高效濾網(wǎng)過濾，再送進(jìn)無塵室。使用位置位于無塵室頂部，用于亂流型無塵室，成本相對較高。FFU的中文是“風(fēng)機過濾單元”，分成兩部分，風(fēng)機及高效濾網(wǎng)。相對高效送風(fēng)口來說，F(xiàn)FU自帶電機，通過電機帶動葉輪達(dá)到送風(fēng)的目的，使用位置位于無塵室頂部，用于層流型無塵室，成本相對較高。
層流罩，工作原理和FFU一樣，也通過電機帶動葉輪達(dá)到送風(fēng)的目的。但是一般在現(xiàn)有無塵室無法滿足生產(chǎn)制成潔凈度要求或送風(fēng)型式要求時（亂流改層流），(全部改造成本較高，只有滿足局部需求即可)，才采用的層流罩，已達(dá)到制成要求